二手 ASM MIR 3000 #293615954 待售

ASM MIR 3000
製造商
ASM
模型
MIR 3000
ID: 293615954
晶圆大小: 12"
优质的: 2010
CVD Furnace, 12" 2010 vintage.
ASM MIR 3000是一种为复杂沉积和加工作业的卓越性能和先进控制而设计的扩散炉。该炉提供快速加热和冷却以及控制良好的加热剖面,使高端设备的生产具有准确性和可重复性。MIR 3000具有节能设计,利用独特的双室设备,通过单个加热器室提供全温度控制。这种双室系统由两个大退火区组成,中央控制室具有高精度的热、真空和过程控制。该设计有助于确保炉膛内所有区域的均匀温度分布。ASM MIR 3000利用先进的两区扩散加热剖面,更精确地调节沉积过程的加热和冷却周期。因此,可以在更大的表面上实现均匀且可重复的薄膜厚度,从而实现卓越的性能。该装置能够达到高达3100 °C的温度,允许在各种先进材料上进行高温应用。该炉设计具有多种安全特性,保证最大限度的用户保护。箱形绝缘设计有助于减少热量损失,而集成保护机器可确保腔室在运行过程中不会打开。自动循环结束热关闭功能进一步确保了腔室不会过热。MIR 3000包括一个自动过程控制工具,使用户能够快速、轻松地编程可重复的加热配置文件。直观的Control Center软件允许操作员轻松设置参数,例如温度、时间、压力、气体使用情况以及其他与过程相关的信息。此软件还提供强大的可视化功能,用户可以实时监视和管理与流程相关的数据。总体而言,ASM MIR 3000是先进设备生产的理想工具,提供卓越的性能和精确的温度控制。凭借先进的散热能力、可靠的温度调节和直观的控制系统,这种扩散炉是生产精确度较高的高端器件的有力工具。
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