二手 ASM MIR 3000 #293639064 待售

ASM MIR 3000是一种最先进的扩散炉,专门设计用于快速、均匀地加热厚度不超过3英寸厚的薄基板。这种耐用而坚固的设备能够处理高达2,000 °C的温度，使其成为金属蚀刻、氧化物生长和掺杂剂活化应用的理想选择。MIR 3000具有串联电源控制系统,可在整个蚀刻过程中提供精确一致的电源。这样可以确保均匀加热、均匀蚀刻速率和可重复结果。该机组还集成了一个强大的强制风扇循环机器，连续循环和疏散反应室，消除了碳扩散和更高的热质量负荷的影响。该炉的先进设计允许大管的均匀加热，而高效的螺旋电阻炉膛线圈保证了均匀的传导和可靠的运行。炉膛线圈装在一个自支撑结构中，这样可以在炉子装满大基板时消除任何挂断或额外的重量。ASM MIR 3000还提供了方便的功能,如可编程数字显示器、具有内存功能的用户友好的可编程中央处理器以及易于操作的软件,以便于过程管理。它还具有若干安全功能，以确保安全运行和避免潜在事故，包括内置的紧急关闭和辐射监测功能。MIR 3000是工业过程和各种测试实验室的强大而可靠的工具，包括那些从事化学气相沉积（CVD）、快速热处理（RTP）、蚀刻和beta测试的实验室。由于其温度范围，ASM MIR 3000也可用于多种退火应用。总体而言，MIR 3000是一种用途广泛的扩散炉，能够始终如一地可靠地加工三英寸厚的基板。这种坚固的扩散炉是满足工业和实验室繁忙需求的理想选择，可节省成本和高效运行。