二手 ASM MIR 3000 #9228362 待售

ASM MIR 3000
製造商
ASM
模型
MIR 3000
ID: 9228362
晶圆大小: 12"
优质的: 2010
Furnace, 12" 2010 vintage.
ASM MIR 3000是一种适合高温应用的扩散炉及配件设备。它旨在在安全和受控的环境中创建高效的生产过程,其模块化设计使其成为各种应用程序的通用工具。系统的主要部件是垂直插入的扩散炉、热蒸发器和敏感器支架。该炉由一种非磁性材料制成,包括石英管、端盖和它们各自的密封件。炉子有一个内置的进料通道,便于进入加工室装卸物料和工具。热蒸发器由高耐热性的氧化铝陶瓷管组成。集成了内部热电偶以准确监测温度。支撑结构由钢制底盘组成,其支撑可以调整以适合单个应用程序。扩散炉的反应室足够大,一次容纳多块。它有一个电子束加热器,以均匀的方式将材料加热到高温。腔室加压,采用石墨绝缘,便于加热过程。该单元还包括一个可调的火炬,它允许W-T比率进行调整,以适应各种各样的应用。为确保安全、受控的扩散处理,腔室通向外部,并配有可调气流开关。该机具备先进的安全监控功能,确保安全高效运行。它有多个用于温度控制的热电偶,以及一个用于精确材料分析的光谱仪。物料的装卸是通过集成的进给方式完成的,转移机理与反应室隔离。此外,磁感器还装有位置控制工具,以确保它保持在适当的位置,尽管高温和可能的振动。MIR 3000设计用于商业和工业应用,也用于高温过程的研发。其模块化设计允许对资产进行定制以适应个人需求。ASM MIR 3000以其坚固的结构和高效的运行,是一种可靠可靠的高温应用解决方桉。
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