二手 ASM MIR 3000 #9235122 待售

ASM MIR 3000扩散炉及其相关配件提供了一种在半导体晶片表面形成和整合微观材料层的可靠有效方法。MIR 3000系统使用扩散过程在晶圆上创建各种结构和组件，如栅极氧化物层、互连通气和外延层。这些部件构成整个半导体器件或设备的构件。除了扩散之外，ASM MIR 3000系统提供离子植入能力，允许创建掺杂区域和层，以便控制半导体单元的电导率。MIR 3000机床采用快速热瞬变和对室内环境的严密控制，为优化扩散性能和工艺可重复性而设计核心炉。该炉采用专门的六区室设计，对每个工艺区进行精确的温度控制，同时还提供低诱导蚀刻环境，允许制造精细的装置特征尺寸。炉子的双室配置为批量式退火工艺提供了额外的选择。ASM MIR 3000工具还能够制造高质量的外延和其他氧化物层，以及薄膜电介质和接触金属堆迭层。这些层通常用作绝缘层、栅极氧化物和晶体管。该资产有一个负载锁定模型，以确保每一个过程都有可重复的起点和终点，以及一个快速加热和冷却闸阀，用于快速清除和隔离运行之间的腔室。装备MIR 3000设备，以达到最佳性能；通过增加一个电子控制系统、一个专用冷却装置和一个监测子系统来扩大炉子。电子控制机允许对整个过程周期进行精确控制。专用冷却工具用于稳定表面温度，防止晶圆和腔内基板之间不必要的热传递。监控资产为温度运动提供实时反馈,并允许在线调整过程参数。ASM MIR 3000模型是一种在半导体晶片表面上形成、整合和制造材料层的极其可靠和高效的方法，允许为各种电子器件创建专用元件。该设备能够快速、准确地加工各层组件，是半导体器件制造的绝佳选择。