二手 ASM MIR 3000 #9261811 待售

ASM MIR 3000
製造商
ASM
模型
MIR 3000
ID: 9261811
晶圆大小: 12"
优质的: 2013
CVD Furnace, 12" 2013 vintage.
ASM MIR 3000是用于处理各种材料的扩散过程专用炉。它由几个组件组成,这些组件用于为各种扩散相关过程创建优化的环境。容纳扩散室的主要部件由坚固耐蚀的不锈钢结构制成,并采用模块化结构。这样就可以针对任何给定的扩散过程定制许多自定义配置。腔室采用特殊的低速气流加热和冷却,确保扩散过程不会达到扩散过程中可能出现的临界温度。这样可以在不影响正在处理的材料质量的情况下进行扩散过程。该腔室的设计包含若干可调节的温度,这些温度可用于为任何扩散过程提供必要的条件。这样就可以在不需要不断调整参数的情况下进行这一过程。MIR 3000还包括扩散室的各种配件,如炉控制器和高性能真空泵。高性能真空泵使机器能够在整个扩散过程中保持压力和温度均匀性。这有助于确保处理的材料得到一致的处理。控制器是一个基于计算机的系统,为用户提供对温度、真空和与扩散过程相关的其他参数的完全控制。这允许用户为任何特定的扩散过程定制参数,在整个过程中给出精度和准确性。ASM MIR 3000还允许方便维护,因为所有部件都可以轻松拆卸并重新组合在一起。这样,无需订购新零件即可更轻松地维修和维修系统。综上所述,MIR 3000是一个专用的扩散炉,具有若干可定制的功能,旨在为各种扩散相关过程创建优化的环境。它具有低速气流加热和冷却、可调温度、炉控制器和高性能真空泵,以保持精度和准确性。所有零件都是牢固地制造的,在必要时可以很容易地拆卸和修理。
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