二手 ASM MIR 3000 #9262042 待售

ASM MIR 3000
製造商
ASM
模型
MIR 3000
ID: 9262042
晶圆大小: 12"
优质的: 2013
CVD Furnace, 12" 2013 vintage.
ASM MIR 3000是为满足商业、研究和工业应用而设计的高度先进的扩散炉及配件设备。它提供了一整套功能,可优化过程效率并实现一致的温度均匀性。凭借其正在申请专利的加热和冷却技术,MIR 3000在焊接和其他需要精确温度控制的扩散过程中提供了卓越的性能。ASM MIR 3000配有一系列附件,以补充炉子系统。这些包括脉冲阀清洗/净化系统、炉衬、加热后淬火系统、惰性气体系统、惰性气罐等等。所有附件都设计为提供最大程度的过程控制、一致的温度稳定性和长期的组件安全性。为了提高过程效率,MIR 3000单元具有多种先进的机制和参数。其中包括有助于提供一致加热和冷却的无刷直流风扇电机、用于调节工艺温度的AutoFlow PID控制器以及用于实时提供精确温度反馈的门置热电偶。此外,机器还配备了一个安全的过温工具,用于监测过程并相应调整惰性气体的流动,在需要时自动关闭资产。ASM MIR 3000的紧凑设计还有助于确保成本效益和节能。其密封室采用十一区绝缘模型,保证了均匀的温度和高效的能耗。此外,该设备还采用高效气动对流加热系统,以降低能源成本,提高工艺效率。总体而言,MIR 3000扩散炉和附件提供了无与伦比的效率和精度.其先进的特性、机制和参数都协同工作,提供一致的温度均匀性、可控的工艺流程和最大的成本效率。因此,这台机器不仅符合而且超过了业界最严格的标准。
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