二手 KOKUSAI Vertron III #9242180 待售

KOKUSAI Vertron III
ID: 9242180
晶圆大小: 8"
优质的: 2005
Vertical diffusion furnace, 8" Nitride 2005 vintage.
KOKUSAI Vertron III是一种最先进的扩散炉及相关电源,设计用于处理具有提高可靠性和产量的先进半导体结构。Vertron III独特的设计允许长时间极均匀的扩散,为各种半导体工艺提供了改进的结果。KOKUSAI Vertron III配备了市面上最高档次的合金元件,并具有独特的内部结构,在许多扩散过程中经常需要的较高温度下加速氧气和其他气体的运动。这样可以在较长的处理时间内实现更大的工作区域、增强的过程一致性和提高的可靠性。Vertron III还具有内置的高级机器人装卸输送机系统。该系统允许在加工过程中高效、安全地处理进出熔炉的晶片,以及易于操作和控制的集成自动化功能。该炉包括一个七区、自调节、精密的液氮淬火系统,旨在确保最高质量的温度均匀性和可重复性,以及快速的温度回收和高效的温度控制。KOKUSAI Vertron III为所有七个区域设计了可变功率输出,允许在不同的工艺条件下具有灵活性。此功率输出针对不同的基材材料和工艺进行了优化,为任何应用程序提供了最高级别的性能。此外,Vertron III配备了耐腐蚀性、高纯度、不锈钢内外表面,使炉子可以承受与许多扩散过程相关的恶劣环境。这些表面设计为在要求最苛刻的过程中提供卓越的性能和防止腐蚀。KOKUSAI Vertron III与各种软件包兼容,为用户提供对其流程的完全控制。凭借这些高级功能,Vertron III能够满足对高精度扩散过程的最严格要求,同时提供最大的安全性和可靠性。
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