二手 KOKUSAI Vertron III #9242183 待售

KOKUSAI Vertron III
ID: 9242183
晶圆大小: 8"
优质的: 2005
Vertical diffusion furnace, 8" Oxide 2005 vintage.
KOKUSAI Vertron III是一种扩散炉及相关配件,为所有类型的扩散过程提供卓越的性能。它具有大型三室设计和内部可编程温度控制器。第一个腔室用于装载基板,由第二个腔室中的元素加热到受控温度。第三室包含惰性气体气氛和维持恒温的加热元件。这种熔炉的工作原理是允许原子在材料中移动以形成键合,从而使扩散过程得以发生。它能够将材料转化为新的硬度和/或电气特性水平。扩散过程利用掺杂剂(元素)、热和压力的组合,形成原子之间的动态连接。该工艺用于广泛的应用,包括半导体器件的制造。这台机器能够运行所有类型的扩散过程,从低温过程到高温过程,如多晶硅退火和氮化硅条带。也适用于薄膜沉积等工艺。该机具有良好的温度、压力和掺杂均匀性均匀性,以及出色的热应力缓解。Vertron III提供了一个一致且控制良好的扩散环境,可以一致重复。还配备了安全特性和工艺监控。例如,它有一个防止有毒烟雾积聚的鼓风机系统,以及一个过温控制系统。它还具有方便用户的界面,便于传播过程。KOKUSAI Vertron III是一种高效可靠的工具,非常适合扩散过程。它通过控制良好的参数提供可靠的扩散结果,为各种材料和应用创造了理想的环境。该机还配备了最先进的安全特性和控制器,以达到一致的效果。
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