二手 MRL 1148G2 #9192211 待售

MRL 1148G2是为生产优质硅片而设计的扩散炉及配件。该炉由氧化铝、橄榄石或石墨加热室组成。它的最高工作温度为1,800°C，并提供功率范围从15kW到19kW的电子束。集成的可编程控件使用户能够选择所需的过程参数以实现扩散过程的高可重复性。集成的红外高温计确保样品面积温度均匀，而内部氧气流量计有助于维持所需的扩散过程气氛。MRL 1148G2还包括在扩散过程中避免形成脆性氧化物和应力的快速冷却过程，以及用于监测扩散过程大气的Quartz泡泡器。石英气泡器用于检测工艺室内所需的受控大气，并输送连续的氧气流动。除扩散炉外，还包括石墨敏感器和石英晶片导轨。1148G2中包含的磁感器在扩散过程中提供晶圆的均匀加热。石英晶片导轨确保硅片在整个过程中可靠地保持在磁感器的下端。在炉子内重新定位磁感器的能力允许多个、单个或特殊的晶圆扩散。1148 G2设计具有安全功能,包括真空隔热屏障,可保持过程效率,同时避免对用户造成伤害。氧气流量计还在没有检测到氧气的情况下切断气流，防止发生任何危险的爆炸或火灾。这种隔热屏障和氧气关闭进一步使晶片在扩散过程完成后能够冷却。MRL 1148G2获得能源之星认证，与其他扩散炉相比，完成扩散过程所需的能量更少。集成粉末冷却系统还可以防止产生任何不需要的氧化物或化学杂质，以确保在整个扩散过程结束时获得完美的结果。