二手 ULVAC V8-100 #9350446 待售

ULVAC V8-100
製造商
ULVAC
模型
V8-100
ID: 9350446
晶圆大小: 6"
优质的: 2009
Vertical diffusion furnace, 6" 2009 vintage.
ULVAC V8-100是一种扩散炉及其附件,设计用于单独或分批为八个100毫米的圆盘放样。最高工作温度可达1120 °C,可用于退火、烧结、焊接等应用。V8-100炉配备了自动真空设备,使内部环境保持在高真空压力下。这有助于确保炉内环境一致,从而实现严格的过程控制和可重复性。它还有一个腔激光测量系统,能够在设备内部实现精确的温度均匀性。该炉还配备了一个水平分区集中控制单元,这是一台先进的温度控制机器,允许在炉内任何给定的操作级别进行完全的温度控制和监督。ULVAC V8-100还配备了一系列附件,旨在使操作更简单、更顺畅。这些附件包括装载机/卸载机工具、单独的控制器单元和专门设计的气动资产。装载机/卸载机模型允许操作员快速、安全地将基板移入和移出炉膛,而气动设备则有助于优化压力水平以实现最佳扩散。除了这些附件外,V8-100还设计了多种气体喷射系统,利用不同的反应性气体使扩散迅速而精确地发生。该装置还允许在必要时进行气体交换和再利用预热气体,从而实现了完整的过程控制和可重复性。ULVAC V8-100扩散炉提供了一种高效、可靠、热效用最小的圆盘凹陷方法。它具有多种特性和附件,这些特性和附件构成了一系列扩散应用的宝贵设备。
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