二手 LAM RESEARCH 2300 Exelan Flex FX #9375615 待售

LAM RESEARCH 2300 Exelan Flex FX是为工业规模生产微电子元件而设计的蚀刻和灰化设备。它可以容纳范围广泛的晶圆大小，从最小的（200毫米）到较大的（450毫米）晶圆格式。该系统采用独特的自洁淋浴头设计，实现了卓越的反应均匀性和更快的工艺时间。这种设计与聚酰亚胺涂层晶片板相结合，保证了低颗粒的产生。Exelan Flex FX有很大的参数设置范围，包括蚀刻时间和压力，以及均匀温度控制。它在蚀刻深度和均匀性方面提供了非常严格的公差,从而实现了最高质量的蚀刻和灰化。此外,该单元还允许对工艺条件进行精确的实时调整,以优化蚀刻结果。Exelan Flex FX配备了屈指可数的高级安全功能。这包括一台基于过氧化氢的清洁机，防止在腔壁上堆积，防止污染。它还有一个先进的安全工具，以加强过程安全。它包括一个隔离室，用于将危险加工气体与资产的其余部分分离，确保设施内人员的安全。此外,Exelan Flex FX还具有流程恢复功能,可帮助最大程度地减少与污染相关的停机时间。最后,Exelan Flex FX专为灵活、特定于过程的调整而设计。此模型允许用户定制蚀刻序列以优化特定过程的结果。这有助于减少停机时间并提高产量。Exelan Flex FX是一款用于大批量生产的可靠且通用的工具,具有更紧密的均匀性公差,可提供卓越的蚀刻和灰化效果。