二手 TEL / TOKYO ELECTRON Formula #9277488 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Formula是一种蚀刻器/灰化器（又称灰化设备），利用等离子体有效蒸发和去除底物中的有机物质。TEL Formula的蚀刻技术专为高通量应用而设计，提供高效的气体利用和卓越的通量性能。该系统能够处理尺寸达200毫米的基板，并利用双源配置（等离子体和蚀刻气体）提供精确的蚀刻控制。它还具有优化的工艺气流，使用户能够获得稳定和可重现的结果。TOKYO ELECTRON Formula具有两种类型的等离子体源-射频和冷等离子体.射频源利用广泛的射频（RF）来维持等离子体，而冷等离子体源则使用直流辉光源来激活气体。利用两个等离子体源，用户可以处理具有不同蚀刻速率的不同类型的材料，并引入渐进蚀刻轮廓，从而提供更稳定的蚀刻结果。该装置还具有各种真空水平，从10.3 Pa到100 Pa不等，用于有效的基板清洗和蚀刻过程。采用了增强型WetDes技术来防止基板上的干燥颗粒缺陷。基板的温度也可以从腔室的自下而上控制。它具有较厚的泵油特性，提供稳定均匀的温度，防止基板过热，提高了蚀刻效果的质量。公式还采用了集成的过程监控机，使用户能够实时观察和校正过程漂移。它具有配方控制程序流程参数，温度监测，蚀刻速率控制和端点检测等特点。所有这些功能都有助于确保快速、准确和可重复的蚀刻过程。TEL/TOKYO ELECTRON Formula是晶体硅、多晶硅和薄膜晶体管等广泛应用的理想蚀刻工具。此外，其坚固的设计和多个等离子体源使其成为更先进蚀刻技术的完美平台。对于要求高通量、精确蚀刻工作的厂商和研究机构来说，它是一种有效的蚀刻器。