二手 ULVAC UNA-2000 #9055148 待售

ULVAC UNA-2000是一种高效的等离子体蚀刻器，设计用于薄膜的沉积和蚀刻。该机配备了一系列特点，提供高分辨率和精确度的多种材料，包括金属、聚合物和陶瓷。UNA-2000有两个独立的工艺室，一个是高精度的机动化晶片定位设备，另一个是可调节的支撑结构，便于改变基板尺寸。ULVAC UNA-2000利用带有惰性气体溷合物的真空室均匀、精确地沉积和蚀刻薄膜材料。高真空环境有助于保持干净、无氧的气氛，使等离子体能够蚀刻而不破坏样品材料。两个独立的工艺室还允许同时处理两个不同的基板。机器的晶圆定位系统配备了高精度电机单元，允许精确的光束转向和精确的晶圆定位。它还包含一系列运动选项,允许用户自定义蚀刻过程。可调节的支撑结构可用于轻松调节基板尺寸，使其与多种基板尺寸兼容。UNA-2000使用源等离子体去除基板表面的物质，设计为与供气管线配合使用，提供一致的气流。可调的进气压力可用于精确控制蚀刻过程，而高纯度氙气供应有助于保证气流一致。ULVAC UNA-2000是一种高度可靠和精确的等离子体蚀刻器，它以广泛的材料提供了出色的蚀刻效果。该装置也适用于批量和无批量操作，是任何蚀刻应用的理想选择。该机设计符合最高蚀刻质量规格，内置高分辨率等离子体测量机确保精度和可重复性。