二手 AXCELIS / FUSION Summit XT #9235774 待售

AXCELIS/FUSION Summit XT是一款先进的曝光设备，旨在满足半导体行业的专业需求。该系统允许生产要求最苛刻的微结构和设备特性,并具有最高的分辨率和覆盖精度。它具有超高通量等离子体源,可将离子注入速度提高到800nm/min,以及无与伦比的成像设备,可实现最高分辨率和准确性。FUSION Summit XT能够暴露广泛的基材，从散装硅片到含有超细纳米层的SynGap™晶片。该机器包括一个先进的专有图像分析和增强软件，它允许维护极小的特征尺寸，同时确保最高水平的基板平面。它还具有先进的快速阶段自动化工具,它提供了高级可重复性,使用户能够快速适应制造模型的变化,而又不牺牲准确性。通过增加额外的集群和模块，包括气体输送模型和可选的等离子体激发源，可以进一步增强资产。AXCELIS Summit XT具有直观、用户友好的触摸屏界面,允许轻松高效的配方开发、操作和设备监控。它还有一个集成的硬盘驱动器,可以在其中存储配方设置和系统日志数据。此外，该单元还配备了嵌入式机器控制处理器，可实现自动化控制和实时工具监控。这台机器专为全天候生产环境而设计,提供高水平的可靠性和鲁棒性。它利用专门的空调资产来维持所需的温度和湿度,并且在环境和ESD方面符合敏感设备的要求。Summit XT是大容量半导体生产的完美解决方桉。该模型具有高速成像分辨率和顶级基板处理功能,是任何尖端晶圆制造设施的必备产品。