二手 NISSIN Exceed 2000 #9221084 待售

ID: 9221084
Implanter.
NISSIN Exceed 2000是一种离子植入器和监测器,用于为半导体器件制造提供可靠、通用的离子植入溶液。具体来说,离子被加速并植入硅等材料上,以改变其电特性。超过2000包括四个主要组件:离子源、束线、端站和监视器。离子源由两个独立的腔室组成,一个金属离子源和一个气体离子源。离子源与束线相连,束线由一组用于弯曲和聚焦束的磁体组成。端站用于将离子传递到基板表面。监视器用于在操作过程中监视和控制光束。NISSIN Exceed 2000可以编程为执行广泛的植入过程,从单级植入物到高电流溷合级植入物。它具有高度的光束控制,可以以1 keV至25 keV的光束能量和1 mA至120 mA的光束电流运行。此外,Exceed 2000还具有许多安全和安保功能,例如检测光束断裂和自动关闭的功能。NISSIN Exceed 2000是一种功能强大、可靠的离子植入工具,已广泛应用于各种应用,如半导体器件制造和医疗同位素生产。它的特点使它成为那些需要先进和可靠技术的人的绝佳选择。
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