二手 LAM STRATA-3 #293609729 待售

LAM STRATA-3
ID: 293609729
优质的: 2022
System Process: CVD 2022 vintage.
LAM STRATA-3是一种精密均匀去除材料的离子铣削设备.离子束由离子源产生,然后在惰性超高真空环境中指向样品工件。离子束在到达样品表面之前穿过电场,允许通过离子铣削过程对材料进行明确的去除。离子束被样品表面吸收,在其周围形成等离子云,从原子键中释放出粒子。这些离子化的粒子随后从样品转移到防御机理上,于是它们被收集并返回离子源。这一过程可以精确去除材料和受控材料等离子体的生成,并对等离子体的掺杂和微量元素进行精确控制。STRATA-3离子铣削系统基于具有三轴提升柱的自动化单元。此配置允许在铣削过程中精确定位样品。样品台配有一个伺服电动机,能够给离子束下方的样品材料送料,同时可以微调相关能量以优化铣削性能。离子源连接到一件式升力石英窗口,允许更高精度的光束对准。LAM STRATA-3机设计用于处理直径可达5厘米、受影响材料深度为10毫米的样品。然后可以将样品装载到升力柱上进行离子束调节和电子枪进行样品放大。可调离子源可设置为产生能量高达20 keV、光束大小为1至5 μ m的0.1至50 mA的光束电流。一旦实现了所需的设置,铣削就可以从选择数量的等离子体计数和溢出计时器开始,以帮助维护可靠和准确的过程。STRATA-3的操作员界面提供了一系列旨在简化离子铣削体验的直观选项。用户可以使用平移、旋转或倾斜预先编程的位置来设置样本,以实现精确的样本对齐。然后,操作员可以使用远程查看器监视离子铣削操作,从而可以实时监视整个过程。与传统的离子铣削系统相比,LAM STRATA-3提高了IMS处理的精度,具有高质量的等离子体轮廓和优异的表面光洁度。刀具的安全联锁和高质量的元件提供可靠的离子铣削和有保证的产品质量。结合行业领先的耐磨石英窗和提升柱的通用设计,STRATA-3确保了各种应用的最佳性能。
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