二手 LAM STRATA-3 #293609737 待售

LAM STRATA-3
ID: 293609737
优质的: 2017
System Process: CVD 2017 vintage.
LAM STRATA-3是一种先进的离子铣削设备,设计用于先进的光刻和分析准备。一系列复杂的组件和功能使STRATA-3非常适合在各种特殊环境中使用。它使用Ar+离子的低压静电荷以有针对性的方式轻轻去除选定的材料区域,并提供一些最新的数据驱动的自我优化选项,以确保最大精度和精确度。该单元具有独特的三轴机械运动设计,带有允许高精度定位蚀刻位置的检测器。该系统还包含几个高度先进的组件和算法,这些组件和算法可以快速扫描复杂的几何形状并在蚀刻点之间快速过渡。马达体积小,振动低,而光学元件增强,允许高放大成像,并提供一个非常高的分辨率在广阔的领域。LAM STRATA-3采用了最新的定位控制器,它采用了最新的算法来实现最高的精度。轴控制装置在大型蚀刻区域内快速、可靠、稳定.这样可以提高蚀刻的精度,并确保结果的重复性和重复性。为了进一步提高蚀刻工艺的速度和精度,STRATA-3利用离子柱的机器,使多个蚀刻点可以同时使用。这也有助于最大限度地提高分辨率和统一性。离子柱的排列方式使离子能够直接和不间断地进入样品表面。这简化了整个蚀刻过程,给了更大的灵活性和对蚀刻条件的控制。离子铣削过程由高级软件包LAM STRATA-3控制。这使操作员能够设置诸如蚀刻角度、蚀刻速度和深度、目标离子通量和溅射面积等参数。它还为操作员提供复杂的实时反馈信息,使他们能够调整参数并优化蚀刻过程。总体而言,STRATA-3代表了离子束铣削技术的最前沿,具有复杂的特性阵列、离子柱阵列和先进的自动化软件,可实现业界最高的分辨率和精度。任何严肃的光刻或蚀刻研究实验室都必须有LAM STRATA-3。
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