二手 LAM STRATA-3 #293616560 待售

LAM STRATA-3是一种用于各种材料的蚀刻和溅射工艺的最先进的离子铣削设备。该系统结合了强大的离子源和多种铣削电极，从而能够精确控制用于制造半导体、MEMS、OLED和其他组件等产品的蚀刻和溅射过程。该装置优于同类产品的优点包括其大腔室尺寸、高精度定位和可重复性、大功率离子源以及提供最佳铣削溷合物的能力。STRATA-3利用的离子源是一台令人印象深刻的200W感应耦合等离子体机器，能够在低压或高压下为各种气体产生高能离子电流。这为操作员提供了多种工艺选择，如离子铣削、等离子体辅助离子铣削、离子束溅射和反应性溅射。LAM STRATA-3利用可调节铣削室提供最多四种气体的最佳铣削溷合物。腔室的适应性有助于确保最大的蚀刻效率和准确性，而高精度定位工具则允许多个电极和旋转基板的精确对准。该资产还提供了两种处理头选项,即双成像头和单成像头,以实现多种溅射技术。双成像头可用于单面或双面成像,而单成像头可用于多层沉积到单个基板上。两个磁头都能够精确控制,因为它们可以精确地将精确的薄膜施加到基板上.STRATA-3的一系列特性和配件也使得它成为纳米技术应用的热门选择。这些功能包括先进的安全系统,可帮助防止意外接触带电粒子和其他与离子铣削相关的危险。此外，该模型与多种物理气相沉积系统以及各种硬件和软件选项兼容。最后,LAM STRATA-3的设计采用了易于使用的界面,使操作员能够轻松编程和设置设备参数。此界面简化了蚀刻和溅射过程,有助于使该系统成为最有效的离子铣削和溅射处理工具之一。