二手 LAM STRATA-3 #9311457 待售

LAM STRATA-3是一种离子铣削设备，使研究人员能够在可靠、可重复的过程中生产出厚度均匀性极好的介电、金属或半导体薄膜。它是脉冲射频和直流溅射过程的理想选择。此系统设计用于产生长宽比大于0.15：1的图桉、凹槽或通孔,其中通过/打开宽度大于通过/打开厚度。它有两种不同的离子源：高电流30+kV电弧离子源和高电流直流离子源。它还包括一个内置的端点检测单元，帮助精确控制离子溅射。STRATA-3离子铣床由工艺室、样品输送、闸阀和排气阀组成。该工艺室是由铝和不锈钢制成的真空室，可用于溅射高达6英寸的晶片，底物温度在-260°C至+263°C之间。它非常适合于介电、扩散屏障和铜种子层的沉积，以及等离子体蚀刻等其他过程。样品转移是一种用于有效控制离子铣削过程的自动化转移工具。它包括一个温度监视器与可调加热器用于控制基板温度.最后，闸门和排气阀能够精确控制资产的压力。LAM STRATA-3离子铣削模型使用户能够创建各种难以或不可能用其他蚀刻技术实现的图样和特征。该设备能够精确控制蚀刻过程,以实现所需的轮廓形态,并提供更大深度的特征。此外,对蚀刻深度的精确控制有助于材料工程师确保薄膜能够承受所需的特定环境。该系统的一些主要特点包括高达2000 μ米/小时的快速蚀刻速率、微米级蚀刻轮廓的可重复性以及对蚀刻深度和尺寸的精确控制。此外，它还为高压30+kV电弧离子源增加了一个模块，可以在没有闸阀的情况下进行溅射。