二手 PHILIPS / FEI Strata DB235 #293591968 待售
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ID: 293591968
Focused Ion Beam Scanning Electron Microscope (FIB-SEM)
Dual beam
Multiple electron detector
Ion detector
Digital scan board
Ion beam current range: 1 pA - 20 nA
Ion beam resolution: 7 nm
Resolution: 5 nm
Gas Injection System (GIS): (4) Cartridges
Gas injection system: (3) Gases
Platinum deposition (CH3, PT, CPCH3)
XEF2
Enhanced etch (Iodine)
Insulator depositor (TEOS)
Controller box has been removed.
PHILIPS/FEI Strata DB235是一种离子铣削设备，用于去除表面层并获得结构的高分辨率图像。这是一种工业级工具,专为精密铣削应用而设计,可用于集成电路制备、设备阵列、GaAs和SiGe外延以及溷合模式光刻等多种应用。FEI Strata DB235是一个多用途系统,它允许具有多种特殊功能的多种应用程序。它是一个自动化单元，可以针对各种离子铣削操作进行编程，包括样品装卸、样品平移以及离子束曝光和聚焦。该机的离子束电流范围介于125μA和2mA之间,能够将有机、有机金属和金属样品铣削至高达0.3 um的深度,分辨率高达3nm。PHILIPS STRATA DB 235采用了许多高级功能,以确保性能更加准确和一致。该工具配备了多种先进的控制系统，包括磨损监测和光束优化。磨损监控是一项有助于确保在铣削过程中离子束保持聚焦的功能,而光束优化功能有助于确保铣削速度一致并实现最佳质量的图像。PHILIPS Strata DB235还受益于多项安全功能,例如防止颗粒逸出的安全壳护罩和安全互锁资产,可加快操作速度并提高安全性。它还具有数字接口,便于与研发人员和生产线进行通信。总体而言,PHILIPS/FEI STRATA DB 235是一种功能强大且可靠的离子铣削模型,它提供了广泛的特征和功能,可用于获取结构的高分辨率图像。它非常适合精密铣削应用,其先进的特性确保了各种光束曝光和阵列操作的可靠性和准确性。
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