二手 KARL SUSS / MICROTEC MA 200 #9381586 待售

ID: 9381586
晶圆大小: 8"
优质的: 1989
Mask aligner, 8" 1989 vintage.
KARL SUSS/MICROTEC MA 200 Mask Aligner是一种用于半导体加工的对准和光刻设备。它是一种高精度、高通量的工具,用于在晶圆上创建集成电路(IC)器件和其他电子元件。MICROTEC MA200使用标准的光学和定位系统将设备掩码精确对准晶圆。KARL SUSS MA-200采用的掩蔽技术是表面成像增强阴影投影(SIE-SP)。这项技术确保了高达十分之一微米的掩模覆盖对准的高精度。宏粒子掩蔽滤波器创造了具有大范围光学能量的3D掩蔽设计。此外,微粒子成像(MPI)功能还有助于从掩模设计中去除颗粒。该系统的自动晶圆对准单元允许精度为0.5微米,可重复性为0.25微米。它还具有内部端点监测机,能够高精度检测和分析晶圆工艺端点。MA200可以对多种类型的材料进行制图,包括但不限于Silicon, Generanium, Gallium Arsenide, and Silicon On Insulator (SOI)。这允许简单地通过添加额外的层来创建非常复杂的掩码。自推出以来,KARL SUSS/MICROTEC MA-200已成为半导体制造中最受欢迎的掩模对齐器之一,其简洁性和先进的特性使其成为那些希望制造小型复杂设备的人的绝佳选择。MICROTEC MA 200在功耗和热稳定性方面也非常高效。MA-200是一个多功能和稳健的面罩对齐器,它提供了同类产品中最高的精确速度比。它用于生产高质量的设备和IC,用于许多复杂的应用,包括但不限于医疗成像、通信和汽车电子。KARL SUSS/MICROTEC MA200结合了先进的特性,能够将器件掩码精确对准晶圆,是任何半导体加工应用的理想选择。
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