二手 SVG / PERKIN ELMER / ASML Micralign 600 #9357224 待售

SVG/PERKINELMERSVG/PERKIN ELMER/ASML Micralign 600 Mask Aligner是一种全自动、高性能、对准的设备，用于溷合光刻应用。它是一种光刻系统，利用多波长投影单元将光学记录的图样或形状从光掩模投影到基板上。这允许制造高精度半导体器件。自动对准和快速的阵列性能使机器成为工业电路生产、医疗设备生产和半导体芯片制造等应用的理想选择。该工具的引擎是双波长投影对准资产。它提供同时照明位于面罩和基板上的多个参考点。光掩模安装在6轴对准级上,该级可快速准确地将掩模图样与基板对齐。它采用三维第一原理对齐方法，使得在基板上的任何一点都能实现精确对齐。该模型包括精密压电级驱动器，能够提供1微米或更高的定位精度。SVG Micralign 600包括高精度的图样源、一致的照明，以及先进的激光干涉仪设备，用于微调图样的缩放和分辨率。所有这些功能的结合大大提高了注册精度,而不是传统的对齐器。它配备了多种可选的附件和软件程序，用于模型数据生成、对齐和分析。这些可选的系统组件允许高度精确地实施诸如计量、迭加对齐、缺陷检查、打印残留分析等应用。ASML/PERKINELMERASML Micralign 600 Mask Aligner是一个先进而有效的单元，为苛刻的光刻应用提供可靠的准确性。