二手 USI PV480 #9183256 待售

USI PV480是一种用于光刻应用（如半导体器件制造）的掩码对齐器。它是一种采用激光干涉测量的高通量机器，具有先进的边缘识别和精度控制技术。PV480面罩对准器使用直线电动机作为底层设计，设计用于在较长的曝光时间内对大型面板基板进行更精细的对准。掩模对准器还配备了集成的卡盘，其面积足以容纳6英寸和8英寸晶圆。这种尺寸使USI PV480能够处理诸如平板显示器之类的大型基板。PV480通过识别基板边缘，然后相应地同步激光的x、y和θ轴，计算补偿平坦度变化。这样可以确保基板在整个加工过程中保持完全对齐。其边缘识别能力还能检测到颗粒和灰尘等污染，自动校正基板，使其均匀暴露。USI PV480提供了一种先进的点对点算法,用于连续精确扫描并精确映射每次曝光的位置和角度。它能够在600 x 600mm的整个场复杂度上提供+/-3 μ m的曝光精度。PV480具有耐用的氙灯，其输出光谱针对光刻进行了优化。其低功耗、低维护和先进的热管理技术保证了大批量生产下的可靠运行。USI PV480掩码对齐器带有用于配方开发的直观软件包,其中包括从用户界面快速编程、调整、监视、控制和诊断对齐器的工具。它具有可定制的掩码编辑器,可轻松设计和验证掩码模式。总之，PV480面膜对齐器是一种先进的高通量光像机，非常适合平板显示器生产等大型光刻应用。凭借其边缘识别功能、均匀的曝光校正和精确的扫描功能,它能够以最小的可变性提供高分辨率、准确的结果。