二手 NIKON Optistation 3A #9115822 待售

製造商
NIKON
模型
Optistation 3A
ID: 9115822
Inspection systems.
NIKON Optistation 3A是一种强大的掩模和晶片检验设备,旨在使制造商能够识别晶片和掩模中的产量限制缺陷。它是一个结合了一系列技术的设备系统,包括高倍率光学显微镜、最先进的数字成像单元、高度精确的运动控制机器以及先进的缺陷检测和识别软件程序。NIKON OPTISTATION 3A的显微镜工具采用了6:1变焦比的纵向变焦方法,使用户能够从亚微米到纳米分辨率查看晶片和掩码。显微镜光学可以调整以提供最大亮度和应用灵活性。资产还允许放大0.3X到8500X的范围。光学成像模型使用高分辨率相机以高达1300万像素的分辨率捕捉样品的详细图像。Optistation 3A的运动控制设备由三轴XYZ运动级和步进电机组成,用于精确的步进和重复操作。它可以执行具有挑战性的自动化操作,如全场多点测量、模式化检查和焦点调整。该系统使用户能够快速准确地控制光学元件的运动。OPTISTATION 3A还包括一个高级缺陷审查软件程序。该程序支持模式匹配和基于神经网络的缺陷检测。它还提供了有关检测到的缺陷(如类型、大小、位置和其他特征)的详细信息。此外,还可用于进行详细的统计分析,以确保过程质量。总体而言,NIKON Optistation 3A是一个高度先进的掩模和晶圆检验单元,允许对样品进行高度详细、精确和快速的检验。它融合了一系列技术,以保证高精度的检测和卓越的图像质量。此外,其先进的缺陷检测和审查软件提供了快速可靠的缺陷识别和质量过程性能的详细分析。
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