二手 NIKON Optistation 3A #9371744 待售

製造商
NIKON
模型
Optistation 3A
ID: 9371744
晶圆大小: 6"
Wafer inspection system, 6".
NIKON Optistation 3A是一种高性能的掩模和晶圆检测设备。它是一种先进的光学检查解决方桉,可提供先进的自动化检查功能,帮助制造商满足当今半导体生产中具有挑战性的需求。NIKON OPTISTATION 3A配备了高分辨率视觉系统,真实分辨率为5 μ米(百万分之一米),能够精确检查半导体晶片和掩模,最小特征尺寸为5 μ米。该单元的高4K分辨率还能够对下一代finFET晶体管进行精确检测。该机器还能够检测各种缺陷,包括碎片、划痕和磁带残留物,灵敏度高达1E-4。该工具利用先进的软件和算法来支持对各种层次的模式目标的检查和审查。它能够自动检查元素,从简单的2D线和圆到复杂的3D结构。它还能准确识别图样,如抗堆迭和纳米特征。此外,Optistation 3A还配备了直观的人机界面,它提供了管理检查项目和审查缺陷的简便方法,有助于简化检查过程。此外,OPTISTATION 3 A还提供高速处理能力,以减少检查时间。这项资产每天能够以比传统检验系统快几倍的速度处理数千个晶圆和掩码。此外,该模型还提供了灵活的数据管理设备,允许用户在远程计算机上导出、存储和查看检查结果。综上所述,NIKON Optistation 3A是利用先进的光学技术、软件和算法,为用户提供一种强大、准确、高效的质量保证方式的高性能掩码和晶圆检测系统。其高分辨率的视觉单元、敏感的缺陷检测能力以及直观的用户界面,使其成为半导体生产的完美工具。
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