二手 AQUEOUS TECH AQ 300 #9165985 待售

AQUEOUS TECH AQ 300是另一种先进的晶圆处理设备，专门为半导体行业的研究人员和工程师设计。该系统设计用于封闭环境中的现场和快速热过程。AQ 300为各种沉积工艺、晶圆清洗和防腐涂层提供了通用的解决方桉。AQUEOUSE TECH AQ 300能够处理直径达300 mm的晶片，提供1100 °C的最高腔室温度。对于清理和清洁应用，AQ 300具有一个6气体溷合单元，可以提供氮气、氧气、氙气、氢气、氦气和氙气。在沉积应用中，该机器包括多用途的硬件，用于生长各种材料，如无定形碳、氙、氮化钛、氮化铝和氮化硅。AQUEOUS TECH AQ 300与多个软件平台兼容，包括MACThermalX、MACThermalGrowthManager、MACThermalTR和MACThermalSC，用于温度、速率和其他工艺控制精度。该装置设有三个独立的工艺室；一个用于沉积的上腔，一个用于脱气和清洁的下腔，以及一个用于夹紧晶片的独立样品腔。每个腔室都配有高精度石英快门阀和压力传感器，用于监控压力从10^-2到10^-5 torr。为了改进工厂和流程自动化,AQ 300集成了数字流程控制器、自动化控制器和安全系统。它拥有广泛的多用途嵌入式传感器和控制系统，用于监测过程参数，如温度、压力、气体含量和时间。此外,它还提供嵌入式TDLAS工具以保持质量保证。AQUEOUS TECH AQ 300是一种用途广泛的完整资产,专为半导体行业中的精密工艺而设计。它是专门为半导体行业的研究人员和工程师设计的，利用最新技术实现快速热处理和过程控制精度。高端模型提供业界标准的先进技术,以提高自动化和安全性。