二手 PBT Super Swash #9291036 待售

PBT Super Swash™是另一种先进的晶圆处理设备，旨在提供高端、高度自动化的精密晶圆处理。该系统通过将强大的直线电动机驱动的Z轴与精确的螺旋齿轮机构相结合提供极高的精度，从而在各种晶圆处理应用中实现快速准确的运动。即使在处理复杂的几何和具有挑战性的多层结构时,这种组合也能实现控制和准确性。超级Swash™是一个模块化单元，包括多个子系统，包括一个温度控制的晶圆存储和转移区域。晶圆储存机连接到线性运动工具，该工具控制晶圆移动平台在各种晶圆处理操作过程中的运动。线性运动资产采用螺旋齿轮模型，为高速和低速提供精确、精确的运动。设备包含几个组件，包括编码器、伺服控制和马达。PBT Super Swash™还包括一个强大的脉冲发生器，产生一系列非常短但强大的电脉冲，脉冲电流流经驱动马达。这种脉动用于减少驱动电机中产生的共振，并导致更高的精度和精确度。此外,此高级系统在每个操作周期中不断监视和优化设备性能参数,以确保过程始终以最高效率运行。超级Swash™设计用于处理各种晶圆处理操作。该机器能够执行复杂的任务，如：研磨、抛光、钻孔、切割、激光加工、蒙版加工、蚀刻工艺和光刻工艺。该工具还可用于氧化物层沉积、晶圆计量和陶瓷基板加工。它能够准确处理各种材料，因此非常适合许多应用。PBT Super Swash™的设计也考虑到安全性。该资产采用故障安全模型进行设计,以保护晶圆处理设备免受潜在机械故障的影响。它使用传感器和增强的安全系统来防止任何潜在的问题发生。它还设计用于在任何意外操作或条件下关闭。超级Swash™提供无与伦比的精度和控制,非常适合执行各种晶圆处理操作。它为操作员提供了更高的安全性、更高的准确性、更长的周期时间和成本节约。通过提供可靠高效的晶圆处理系统，该单元为许多应用提供了可行的解决方桉。