二手 TEL / TOKYO ELECTRON ACT 8 #9401926 待售
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ID: 9401926
晶圆大小: 8"
优质的: 2001
(3) Coater / (3) Developer system, 8"
AC Power box
Wafer flow: Left to right
Controller
THC: ESA-4-D-02
IFB
Coater unit:
2-1, 2-2: (8) Dispense nozzles
2-3: (4) Dispense nozzles
RRC Pump
Developer unit:
E3 Nozzle
TCU:
(7) CLLO Power sources
(8) Pumps
Chemical box 1:
PR Bottle
(8) RRC Pumps
Chemical box 2:
HMDS
Thinner: (2) Tanks auto supply
DEV: (2) Tanks auto supply
Missing parts:
3-1, 3-3: Spin motor driver
IRA Main Y driver, Z driver
WEE Lamp house
2001 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON ACT 8是专门为研发应用而设计的最先进的光敏设备。该系统采用双传感器技术检测基板中存在的光致抗蚀剂。它也可用于检测基板内的图样化过程中的不规则性，使其成为研究的理想选择。该装置的双传感器提供了出色的分辨率,具有0.1至7.0微米的超高分辨率,能够为各种研究和生产应用设计阵列。除了卓越的精度，TEL ACT 8还配备了温度和电压调节器，以确保准确的结果。传感器还可以检测整个基板不同深度的光阻。TOKYO ELECTRON ACT 8还提供多种软体工具，包括电气、机械和光学测试参数。它可以模拟薄膜沉积、等离子体蚀刻等多种过程。此外,该机器还具有存储不同工艺参数以供将来参考的能力,以便研究人员能够轻松地重复一项任务或修改该工艺。除了其主要功能外，TEL ACT 8还具有许多集成控制外围设备，如电源监视器、自动厚度控制器和真空室。这些功能使该工具成为研发专业人员的高度重视资产。总体而言，ACT 8是一种可靠、准确的光刻胶资产，设计时考虑到研发应用。它的双传感器技术使用户能够检测到阵列化过程中的不规则性，并存储过程参数以供将来参考。TEL/TOKYO ELECTRON ACT 8拥有许多集成的控制外围设备,使用户能够在存储重要数据的同时模拟和控制各种过程。这使得它成为研究和生产应用的宝贵工具。
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