二手 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 12 #9106048 待售

TEL/TOKYO ELECTRON CLEAN TRACK ACT 12是一种光致抗蚀剂设备，能够对基板进行精确的阵列。系统紧凑，操作简单简便。它包括一个改进的过滤单元，配备了能保持室内清洁环境的防粒机。基板支架可以自动调整，工具也允许更多的操作灵活性。资产有一个多区域非接触式测量模型，可以精确测量基板，以确保与掩模正确对齐。它还配备了高精度的剂量控制设备，具有广泛的剂量和能量水平，以达到最佳效果。该系统能够为各种应用设计各种尺寸的基板。曝光装置包括一个870nm ArF激光照明器，具有专有的扫描技术，以确保稳定、均匀的光束适合所需的图样。该机具有高分辨率成像工具，最大分辨率为512x512 dpi。此图像资产是A 10位维护良好的,所有图像均以极高的精确度和清晰度进行捕获。TEL Clean Track ACT 12还包括多项清洁功能，如离子淋浴清洁和索引清洁。离子淋浴清洗用离子轰击基板，而Indexing清洁是一种非接触式的方法，使用磁性的刷子来清洁区域。该型号还有一个备用泵设备，这是一个二次泵系统，以确保单元维持所需的环境条件。该机配备了一系列安全功能，如内置联锁工具和防静电资产。最后,该模型还允许通过可通过用户界面访问的以太网或RS 232端口进行远程监视和控制。这使用户能够快速轻松地调整参数并快速排除任何问题。