二手 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 8 #9184205 待售

TEL/TOKYO ELECTRON CLEAN Track Mark 8是为半导体製造工艺而设计的先进光刻胶设备。它能够以高精度和高效率地执行开发、曝光和后期处理的关键步骤。这使它能够创建具有优化特性和改进性能的各种设备。系统的核心是强大的深紫外线曝光源。这可以在整个晶片表面提供均匀的辐照,并能够准确控制图样分辨率和线/空间宽度。曝光时间可针对较小的特征大小和较高的长宽比进行调整,从而允许使用更复杂的阵列,包括紧密间隔的线条和更复杂的几何形状。该单元配备了化学分配机，使用高度精确的蠕动泵以受控速率将显影剂施加到晶片上。这确保了光致抗蚀剂以所需的强度和均匀的方式发展。后处理过程采用静态和动态平衡功能进行优化，可以微调显影板的倾斜度和速度，以及化学分配速率。Mark 8是为最大的操作安全性而设计的。它有一个内置的烟雾提取工具，可以自动过滤空气中的化学物质和实验室污染物，以保护用户免受暴露。此外，该资产的设计目的是满足或超过包括腐蚀性化学品处理以及有毒物质储存和处置的严格规定。为了确保最高级别的性能和可靠性，在交付之前对模型进行了严格的测试和校准。这包括运行各种模拟来模拟光刻胶层中缺陷级别的影响，以确定任何给定应用的最佳设置。TEL Clean Track Mark 8的开发旨在实现灵活、经济高效的光刻胶处理。它对光能水平的精确控制、化学品的精确分配、动态平衡和自动化的安全特性使其成为半导体制造的理想工具。