二手 TEL / TOKYO ELECTRON Mark 7 #9352304 待售

TEL/TOKYO ELECTRON MARK 7是一种扫描光刻设备，准备晶片进行微加工。这一工具对于提供一个表面层以创建半导体电路至关重要，并且在制造现代电子器件时特别有用。TEL MARK7系统通常用于将光敏胶片沉积在晶片上。这层光刻胶有助于定义后续处理步骤所需的图桉，如光刻、蚀刻和沉积。TOKYO ELECTRON MARK-7单元采用计算机控制的扫描狭缝机制，将光刻胶从一个卷转移到晶圆表面。利用光源垂直照射基板和光刻胶，而狭缝机构水平运行，使光刻胶均匀地沉积在整个晶片上。这一工艺可以进行优化，以适应薄层的光刻胶。MARK7还配备了集成视觉机器，以提供进一步的控制以及扫描检测局部缺陷。Mark 7上的光致抗蚀剂由于狭缝机构的精确度极高，因此精度很高。这有助于确保晶片上所需图样的均匀性。此外，该工具具有较高的剂量准确度，宽阔的狭缝允许比单个喷嘴资产更精确地沉积光致抗蚀剂。总体而言，TOKYO ELECTRON MARK 7是处理晶圆的有效解决方桉。其先进的技术确保了精确的光刻胶覆盖范围，并提供了出色的厚度控制。这确保了生产高质量半导体和电子器件的均匀性和准确性。