二手 TEL / TOKYO ELECTRON Mark 7 #9364579 待售

TEL / TOKYO ELECTRON Mark 7
ID: 9364579
晶圆大小: 2"-6"
Track system, 2"-6".
TEL/TOKYO ELECTRON MARK 7是为精密光刻而设计的先进光刻设备。由TEL开发,专为提高用于制造微电子电路的光刻工艺的精度和效率而设计。该系统使用先进的晶圆扫描单元构建,以精确地将光刻胶图像暴露在基板上。这是通过扫描仪头完成的,扫描仪头在晶圆上快速移动,发出光束。光束通过扫描仪透镜的狭缝定向,以精确地暴露光刻胶层。TEL MARK7还具有高性能、六边形、坐标驱动机器,可对光束的频率和振幅提供精确的运动控制。此外,它还配备了一个全自动工具,用于在光刻胶曝光和开发过程中保护基板。资产还具有多种选项,可用于为各种应用程序定制模型。它可以配置阶段倾斜、曝光时间、曝光剂量、扫描速度、扫描角度以及基板尺寸和类型的不同配置。此外,还可以配备高级扫描设备和其他模块,以进一步提高其准确性和吞吐量。最后,TOKYO ELECTRON MARK-7的设计具有很高的安全性。它包括自动安全功能以防止过度暴露,并具有一整套警报和联锁功能以确保过程安全。此外,它还从TOKYO ELECTRON全球支持网络提供维护和支持。总体而言,MARK-7是一种先进的光刻设备,旨在提高精密光刻工艺的准确性和吞吐量。其高性能、六边形的坐标驱动器系统和可定制的选项为满足各种应用程序的需求提供了灵活性。它还具有综合安全单元,并得到TEL/TOKYO ELECTRON全球支持网络的支持。
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