二手 SPEA 4030 #9252475 待售
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SPEA 4030是为半导体器件的高精度探测而设计的先进prober。它是一种全自动、高速的螺旋桨,具有极高的精度,能够测量直径不超过12英寸的晶片上0.1 µm的特性。4030采用了新的光学干涉探测系统(OIP),能够适应不断变化的晶圆尺寸,提供高达15微米的垂直行程,并且可重复性为0.5µm ±。该探头还设计了2.5µm ±的偏移能力,以适应最新一代的大小型装置垫片。自动螺旋桨装有一个电动XY级,能够移动到1毫米/秒,精度±为2.5 µm。L形模版图系统在定位用于探测的晶片时允许高度精确,精度±为0.5µm。为了保证最高精度,SPEA 4030配备了多种高级功能,包括自动压力补偿、变速调节和无线设计。自动压力补偿可确保晶片之间的均匀力分布,从而获得最佳效果。而且,prober在不同位置之间移动的能力也可以用高精度的控制来定制。这允许在整个过程中微调晶圆位置。和大多数精密探针一样,4030还附带一个分析站,它提供数据,可以帮助识别和消除测试和测量中的错误。这确保了prober可以用于测量甚至最复杂的设备。SPEA 4030是一种高度可靠且经济实惠的精确探测解决方桉。凭借其先进的特点和可靠性,它已成为许多半导体行业实验室的重要工具。
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