二手 DNS / DAINIPPON LA-820 #9198165 待售

DNS/DAINIPPON LA-820是一种快速热处理器（RTP）,专为高级微加工和设备表征中的应用而设计。它是一种坚固可靠的设备,具有高精度和重复性.该系统能够产生每个重复周期时间为10毫秒的热循环。它提供-150°C至550°C的热处理温度范围,分辨率为0.1K,温度均匀度为2K ±。该装置包括一个装有具有热循环能力的炉子的快速加热热板，以及一个装有惰性氮或氙气供应机的封闭反应室。反应室允许处理多达四个晶片，每个晶片的尺寸为8英寸。直径。腔室温度范围为25°C至350°C，分辨率为0.1K，温度均匀度± 2K。该工具还包括一个四轴平移级，可在热处理过程中精确控制晶圆的位置和方向。集成控制资产提供高精度和精确度。它还可以检测热处理过程中的任何异常，使其适合用于高精度、复杂的热处理过程。集成的数据记录软件使用户能够监控各种工艺参数，如温度、气体浓度和流速。DNS LA820配备了几个安全功能，包括闭环温度控制模型、故障安全传感器以及超温情况下的自动关闭。该设备还包括一个热操作软件，使用户能够对设备热循环序列进行编程，包括高精度的斜坡/冷却序列。DAINIPPON LA 820是先进的微加工和设备表征的理想系统。它提供了非常快速的热循环能力和强大可靠的单元，高精度和可重复性。适用于具有一系列热型材的多个晶片的加工，使其适合多种应用。