二手 MODULAR PROCESS TECHNOLOGY / MPTC RTP-600 #9392903 待售

MODULAR PROCESS TECHNOLOGY / MPTC RTP-600
ID: 9392903
晶圆大小: 5"
Rapid Thermal Processing (RTP) system, 5".
MODULAR PROCESS TECHNOLOGY/MPTC RTP-600是一种快速热处理器(RTP),设计用于精确快速地处理光电子和其他器件组件,如红外线、光电二极管、光子晶体、纳米结构,并已开发用于晶圆或芯片刻度处理和选择性加热,分辨率为几um,通常为1-3 um。MPTC RTP-600设计用于执行快速退火、精炼和重结晶等各种快速热过程(RTP)。模块化工艺技术RTP-600可用于在高达1100°C的温度下进行快速热处理。其核心部件由电加热室、空气或氦循环风扇、温度控制器和RTU(快速热装置)组成。冷却设备由热电冷却器、风机和循环泵组成。RTP-600的温度范围为0至1100 °C,由高级工艺控制器控制,该控制器具有可编程的高温坡道/浸泡循环以及专有的用户定义的氧化、扩散和退火特征。温度斜坡的频率可达每分钟5000度。它还可以容纳多种取向晶片和玻璃、陶瓷、金属等多种基材。MODULAR PROCESS TECHNOLOGY/MPTC RTP-600易于使用,需要最少的安装和安装,并且能够清洁所有关键设备参数并提供过程控制,同时保持较低的热预算和功耗。MPTC RTP-600利用先进的温度控制器,能够调节温度并将其保持在几度以内。MODULAR PROCESS TECHNOLOGY RTP-600附带了各种各样的测试模块,这些模块具有不同的测试条件,用于研究器件材料的特性,如导热率、反射率和发射特性等。系统还支持多种设备配置和封装类型。RTP-600是满足工艺需求的理想解决方桉,可提高工业生产的吞吐量。它经过了领先的设备制造商和工艺实验室的广泛测试和认证,能够保证可重复和准确的结果。这台机器具有自我诊断单元、易于操作和用户友好的软件等功能,是满足设备打包和测试需求的完美解决方桉。
还没有评论