二手 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 Mark II #9196212 待售

AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 Mark II
ID: 9196212
晶圆大小: 8"
PVD System, 8" (2) Chambers MXP Oxide chamber.
AMAT/APPLIED MATERIALS P5000 Mark II是一种高性能沉积反应器,设计用于半导体工业。这种高端设备是针对用户特定配置的定制反应堆。它旨在提供亚微米的均匀性和卓越的工艺能力。系统的反应物通过气体输送装置输送到反应头或敏感器。所使用的反应物因施用不同而有所不同,但可能包括硅烷、氧气、氦气、氮气、氙气和其他相关气体。反应物随后注入反应室内,在那里结合形成反应性等离子体。这种等离子体产生广泛的底物,从单晶晶片到纳米大小的颗粒。AMAT P5000 Mark II有两个阶段的设计,允许多个加热和冷却阶段。加热是通过感应或石英船等多种方法实现的。冷却方法基于质量流控制器,该控制器将温度保持在所需的水平。这台机器还利用法拉第屏蔽在基材加工过程中引导等离子体粒子越过晶圆。APPLIED MATERIALS P 5000 MARK II还配备了3D控制工具,使用集成软件实现对沉积速率、温度和基板均匀性的精确控制。这样可以更好地管理流程参数,并且可以针对不同的流程配方进行编程。该资产还与自动化装载机集成在一起,以提高生产率和效率。该车型还具有紧急停车、报警和发生事故时自动停电等多种安全功能。P 5000 MARK II易于清洁、维护,并且可以改装以定制反应堆用于特定应用。它是一种高端设备,具有增强的特性和优越的控制,保证了高质量的沉积和优越的产量。
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