二手 ALCATEL / ADIXEN / PFEIFFER SCM 650 #9253767 待售
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ID: 9253767
Sputtering system
With loadlock
RF/DC Sputtering (with or without bias)
Ionic cleaning
Process gas: Argon, Nitrogen
Stainless steel chamber, 26"
Diameter: 650 mm
Fitted with port-holes and flanges
Port pumping, 6"
(2) Magnetron targets, 8"
Water flow: 15 l/min
Pressure: 6 bar
Compressed air pressure: 6 bar ±0.5
Dry nitrogen pressure: 1.5 bar
Manuals included
Load lock: 6" Substrates
Substrate holder: (4) Stations
(6) Indexed positions
(4) Transfer positions
(2) Sputtering positions
Rotation: 1 to 30 rpm
Vertical translation: 50 mm - 100 mm
One 3/4 automatic shutter
RF Generator: 2000 W
DC Generator: 3000 W
Pump:
Load lock:2012 A Rough rotary vane pump: 15 m³/h
CHAMBER: 2033 A Rough rotary vane pump: 35 m³/h
Secondary: 5402 CP Turbomolecular pump: 380 l/s
INTER-SEAL: 1004 A Rough rotary vane pump: 4.5 m³/h
Measurement:
Load lock: PIRANI PB 122 Rough vacuum
Chamber: PIRANI PB 111 Rough vacuum
BAYARD ALPERT BN 111 Secondary vacuum
BARATRON MN 121 Process vacuum
(2) Gas lines
Machine control : Programmable logic controller
SIEMENS Simatic with an OP 395
CE Marked
Power supply: 380 V, 3 Phase, 18 kVA.
ALCATEL/ADIXEN/PFEIFFER SCM 650是专为工业和学术生产应用而设计的功能齐全的高性能溅射设备。ADIXEN SCM 650在其可靠的基于PLC的自动化系统的严格控制下,对各种金属和非金属薄膜沉积材料进行精确、经济高效的溅射。这种坚固的溅射装置是成本敏感工艺的理想选择，尤其是在实验室或研发环境中。采用模块化磁控管溅射工艺，ALCATEL SCM 650沉积金属、合金和非金属涂层，具有出色的附着力、均匀性和阶梯覆盖率。其先进的工艺控制允许qPCR、光发射光谱和俄歇曲线，以及改进薄膜沉积的温度和时间增强。SCM 650也使得对不同基板用途实施微调变得简单。PFEIFFER SCM 650的大型抽水室采用优质建筑材料建造，并设有机动化闸门进入加工室，使基板的添加或移除更加容易。车门还配有焊接O形环，确保无泄漏环境。该机器可以通过Web浏览器进行远程监控和操作，允许用户访问关键的工具信息以及实时流程控制和流程数据监控。ALCATEL/ADIXEN/PFEIFFER SCM 650装有主动气体控制装置，包括安装在模型后方的高压缩性的氙气资产。它还有一个清除孔，以尽量减少氦气的消耗。ADIXEN SCM 650的多功能设计让使用者可以轻鬆自订其薄膜涂覆工艺，以配合不同的应用。例如,通过将两个溅射目标连接到同一磁控管源,很容易实现双色配置,而通过其各种安装选项可以实现各种其他配置。对ALCATEL SCM 650坚固耐用的结构进行了测试,以确保即使在最具挑战性的环境中也能以最高的效率和耐用性运行。它还包括一系列安全功能，如联锁和警报，为用户和整个设备提供最大程度的保护。总之,SCM 650是一个可靠、用户友好的溅射系统,提供无与伦比的性能和可靠性。它是工业和学术生产应用的完美解决方桉，需要精确、经济高效的薄膜沉积工艺。
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