二手 VARIAN 3120 #9069403 待售

VARIAN 3120溅射设备是用于等离子体增强化学气相沉积（PECVD）和物理气相沉积（PVD）工艺的先进工具。它是一个直观、先进的系统，使用户能够在高温基板上快速、精确地沉积薄膜层，如玻璃、玻璃陶瓷、塑料、金属等。3120单元包括两个独立但同时的溅射源、三个可旋转目标、两个蠕变室和一个电子喷枪磁控管溅射源。两个磁控管源在腔室内同时运行有助于最大限度地提高工艺产量和可重复性。此外，该腔室和组件的设计是为了减少腔室疏散时间和优化较大区域的沉积速率。VARIAN 3120还包括一个大型的高真空室，设计用于在任何时候保持均匀和最佳的清洁，从而产生一个非常干净和光滑的表面，用于薄膜层的沉积。3120机器具有许多功能，使用户能够在溅射和其他过程之间快速变化，包括离子注入、电子束或激光熔化以及热氧化。用户可以使用该工具来控制过程参数，如目标电流密度、氧掺杂水平、基板偏差和时刻温度。VARIAN 3120还包括高级安全功能,例如确保模型安全运行的互锁资产。设备被封装在卸载的空调中，以保持腔室温度和压力恒定。3120还提供了非常高分辨率的成像，允许用户使用其用户友好的图形用户界面查看、编辑和分析图像。此界面允许用户快速调整合成参数以微调膜层。最后,VARIAN 3120系统可以轻松集成到自动化系统和工厂环境中。该装置在各种工艺条件下工作，温度为200 °C，压力高达5E-6 Torr。这使得它成为量产运行的理想选择。