二手 VARIAN 3180 #9105796 待售

製造商
VARIAN
模型
3180
ID: 9105796
晶圆大小: 4"
Sputtering system, 4" CTI8 Cryo pump included.
VARIAN 3180是一种设计用于精密沉积工艺的高度先进的溅射设备。该系统是业界最受欢迎的系统之一,并提供顶级功能。它具有高速率沉积、对精确工艺条件的良好控制以及各种应用所必需的灵活性。3180提供单室、双目标、可旋转阴极溅射单元。这种溅射机具有先进的水平特性,提供高精度,以确保可靠和一致的沉积。它提供了对工艺参数的精确控制,允许用户精确调整沉积速率、气压、磁控管尺寸、气流和电压/功率。这样,您就可以根据需要调整每个应用程序的流程参数,从而每次都能提供质量结果。该工具还配备了最先进的计量设备,确保可靠和准确的沉积结果。这包括一个光学加热/冷却装置,一个中心离子枪,以及一个具有温度和流量控制的基础压力表。还包括超精密激光光度计,用于精确计量薄膜厚度。无论环境和基质如何,这都能确保一致的沉积结果。而且,VARIAN 3180提供的灵活性水平无与伦比。它与许多基板兼容,包括金属、陶瓷、聚合物和玻璃。这种灵活性允许用户为其应用选择适当的材料,确保沉积过程产生所需的结果。此外,该室的设计提供了一个统一的生产环境和恒定的压力在沉积区域。总体而言,3180溅射资产提供了高级别的特性和功能,使其非常适合各种应用,从半导体触点和薄膜晶体管到光学显示器和传感器。其顶级的精密控制、灵活性和精确的计量设备使其成为各种沉积工艺的绝佳选择。
还没有评论