二手 OPTOTECH ASP 80 DMT #293651482 待售

OPTOTECH ASP 80 DMT是一种全自动、可编程的设备，设计用于高性能、高纯度半导体和光学器件的精密晶圆研磨、研磨和抛光。该系统用于制备尺寸、形状和表面光洁度合适的基材，且浪费最少。该单元结合了精密研磨研磨单元、抛光单元和集成控制机器，使研磨和抛光过程完全自动化。该工艺的研磨阶段从高精度机器人开始，该机器人使用金刚石研磨轮将基板直径减小到要求的尺寸和形状。机器人配置为确保均匀的研磨模式和最小的表面粗糙度。接着是一个研磨单元：在这里，一个磁力驱动的精密工作台旋转基板，而该工作台同时进料金刚石悬浮液供应磨削和抛光过程。这确保了均匀、超平坦的基板表面。抛光阶段涉及高精度抛光单元。该装置配有磨料刷子，结合振荡特性，有助于提供均匀抛光，同时减少热量产生和表面损伤。该单元还设计为允许用户对抛光参数进行编程并获得最佳的表面轮廓。该工具进一步配备了带有计算机接口和数字面板的集成控制器。控制器确保研磨、研磨和抛光过程可以编程，而计算机界面允许用户创建和修改配方。数字面板使用户能够检查当前使用的配方并相应调整参数。总体而言,ASP 80 DMT是一种用途广泛的资产,可提供晶圆的精确研磨、研磨和抛光。该模型适用于包括半导体、光学和MEMS器件在内的多种基板的研磨和抛光。它还针对中型至大型生产环境进行了优化,为用户提供了最大的灵活性和对研磨及抛光工艺的控制。