二手 SPEEDFAM Auriga C #9139520 待售

ID: 9139520
晶圆大小: 8"
优质的: 1999
Atlas CMP polisher, 8” 1999 vintage.
SPEEDFAM Auriga C是为晶圆研磨、研磨、抛光而设计的创新设备。这种研磨和抛光设备为各种基材的制造和加工提供了高精度和重复性。Auriga C能够研磨和抛光尺寸从8到150 mm的晶片,厚度可达0.3mm。SPEEDFAM Auriga C具有高级控制器和软件包,可提供一系列性能和流程功能。该系统的研磨和抛光操作可以精确地进行调整,以产生优异的效果。其自动化的操作员控制台和物料处理系统提供了极致的灵活性,简化了工作流程并降低了人工成本。Auriga C的设计在晶圆研磨和抛光方面提供了最大的准确性和可重复性。该单元配备了坚固、精密设计的组件,如三轴数控定位表和自动晶圆索引器。这样可以确保机器能够持续产生高度准确和可重复的结果。SPEEDFAM Auriga C也被设计为易于使用。直观的用户界面和自动化的物料处理工具使设置、操作和监控变得简单。其先进的安全特性包括联锁、运动传感器和化学过程控制。资产会自动监视流程参数,并在出现偏离设置参数的情况时提供警报。最后,Auriga C配备了高质量的研磨和抛光耗材,旨在提供一致的结果。消耗品将污染和氧化的风险降至最低,同时提供卓越的实用性能。SPEEDFAM Auriga C是晶圆研磨、研磨和抛光需求的理想选择。其最先进的技术、准确性、可重复性和可靠性,使其成为生产高品质基板的理想选择。
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