二手 SPEEDFAM Auriga C #9222188 待售

SPEEDFAM Auriga C
ID: 9222188
CMP Polisher.
SPEEDFAM Auriga C是一款晶片研磨、研磨、抛光设备,设计用于以前所未有的质量和速度完成单面和双面硅片。Auriga C具有独特的CNC驱动抛光头,即使在严密的加工区域也能顺利找到最佳的切割路径。头部确保晶片上的晶体损伤最小化,充分利用CNC的高加速度和同时钻孔、研磨、抛光能力。该系统还支持晶片边缘研磨,使晶片的边缘比传统的10 μ m的研磨极限更薄。SPEEDFAM Auriga C的高精度卡带进料机制最多可容纳20个卡带,以不间断地处理大量晶圆。其高功率电机和重型变速箱,结合其强大的数控研磨研磨主轴和高效的主轴倾斜机构,确保了卓越的加工速度。CNC还提供全自动金刚石车轮敷料,最大限度的生产完美均匀的平整度。Auriga C的其他功能还包括一个先进的光学装置,配备高分辨率彩色CCD视觉摄像机,可实现精确定位和近距离公差研磨抛光。砂砾分配机可以将工作材料精确高效地输送到抛光板,而自动载荷指示则可以精确跟踪晶圆的进展。此外,它的综合安全保护措施,保持操作员的安全,同时保护周围的物体免受污染。SPEEDFAM Auriga C在大批量生产过程中设计为极高精度和最大速度。其精度和速度相结合,是半导体制造厂晶圆加工的理想选择。坚固耐用的结构、先进的安全系统和可靠的可靠性使其成为晶圆处理应用的理想选择。
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