二手 ASML PAS 2500 / 30 #9234701 待售

ASML PAS 2500/30是专为现代半导体工业需求而设计的最先进的晶圆步进器。这一系列步进器为无掩码光刻、光学图样识别和图样迭加提供了灵活的光刻选项。PAS 2500/30采用业界领先的技术,专为高产量和低拥有成本而设计。ASML PAS 2500/30凭借其专有的Quad-VFD HSIS Optics和独特的Veeco照明设计实现了卓越的成像性能。这种步进器以其高功率红外激光提供卓越的成像输出和扩展的聚焦深度，以优化均匀性和分辨率。Quad-VFD HSIS光学还提供高效、高精度的设计优化，并支持高级模式搜索应用。Veeco照明设计可确保出色的成像效率,最大限度地减少图样干扰,并提供快速的处理速度。PAS 2500/30还允许模式迭加功能,它允许对多层进行精确测量和对齐,以便进行高级光刻生产。这种步进的先进硬件和软件在复杂的光刻应用中提供了更高的重复性和准确性。它还提供了高达+/-1 um的x和y轴对准精度,以及6英寸晶圆上最高+/-0.5 um的z轴对准精度。对于自动光刻生产,ASML PAS 2500/30提供无掩码光刻和光学图样识别功能。无掩码光刻可以自动生成高质量的晶圆图样和复杂形状,而无需使用掩码或母版,从而降低了总体生产成本。其集成的光学模式识别功能为快速周转提供了高精度的模式识别和自动晶圆缝合。PAS 2500/30是需要精确精度的现代高科技光刻应用的理想选择。它提供了先进的成像性能、精确的覆盖能力以及尖端的无掩码光刻和OPR功能,以改进晶圆的生产。