二手 CANON FPA 2000 i1 #9247809 待售

CANON FPA 2000 i1
ID: 9247809
晶圆大小: 6"
优质的: 1999
i-Line stepper, 6" 1999 vintage.
CANON FPA 2000 i1是一种晶圆步进器,设计具有高效生产高性能集成电路元件所必需的先进特性和技术。该设备使用户能够准确实现亚微米级的特征尺寸和+/-0.5微米的精确覆盖电位。CANON FPA2000-I1使用步进机制,具有能够产生双微米特征的双弹跳不对称交叉矢量对准系统。此设备可实现最大的灵活性和性能,允许设备根据流程需要自动调整设置。该机器包括一套强大的图像处理工具和先进的成像技术。FPA-2000I1包含高分辨率单色相机和热蒸发器测试阶段,以便准确确定迭加对准性能。此外,还提供了包括高速干涉分析工具(HISA)在内的多种其他组件,以进一步提高工艺性能。晶圆步进器还具有低功耗模式,在操作过程中降低能耗,并提供了一个健壮的平台,以尽量减少服务呼叫。该资产采用内置维护功能进行设计,使用户能够轻松地诊断和修复任何有故障的组件。对于需要超高精度的工艺,佳能FPA-2000I1配备了先进的图像增强器模型.这种设备使用户能够精确地获得以纳米为单位的特征尺寸。通过采用直接写入技术,系统能够以通常与电子束光刻相关的分辨率精确再现图样。FPA2000-I1基于CANON Flexible Architecture,它允许用户根据其生产过程的特定需求轻松定制设备。内置对策,如高性能的图像稳定机,确保用户能够可靠地生产出具有广泛重复性的高精度元件,并能够精确调节光学曝光。FPA 2000 I1是一个有用的工具,适用于需要具有复杂阵列要求的设备的高级光学性能的用户。该工具性能可靠,能够产生高性能集成电路所需的高级功能。
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