二手 CANON FPA 2000 i1 #9251787 待售

CANON FPA 2000 i1
ID: 9251787
晶圆大小: 6"
优质的: 1999
i-Line stepper, 6" 1999 vintage.
CANON FPA 2000 i1是专门为微加工应用而设计的先进晶圆步进器。这台高度精确的机器能够提供令人印象深刻的结果,使其成为要求最苛刻的生产过程的理想选择。CANON FPA2000-I1提供了一个可靠且可重复的薄膜阵列平台,对准精度± 1.5微米。它采用晶片扫描技术,这意味着它能够通过高分辨率光学器件以4.7微米的分辨率沿x轴和y轴(Y方向)扫描晶片。它采用了4.7微米光斑尺寸的远心光学器件,保证了高精度水平。同时,该设备还具有可编程曝光时间和多重曝光选项,允许用户量身定制接触晶圆的特定层。高级FPA-2000I1还具有顶部和底部视觉系统,它们能够以更高的准确性和可重复性对齐模式。此外,它还使用户能够更精确地测量晶圆厚度和迭加对齐方式。与刚性s/N控制系统一起,此步进器能够在整个过程周期中保持精确的对齐。CANON FPA-2000 I 1采用自动装卸系统以及车载集群工具和集成的旋转涂料开发。这使得它更容易使用,适合广泛的应用。尽管FPA 2000 I 1具有先进的功能,但与其他高级晶圆步进器不同,它的操作相对简单。CANON FPA 2000 I1非常适合光刻工艺,使用户能够精确地执行各种任务。从阵列化纳米级结构到封装微电子设备,这种设备集成设计让用户轻松完成最先进的流程。所有这些特性使其成为生产和研究环境的理想选择。它可以帮助提高生产率,并允许用户每次都产生令人印象深刻的结果。
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