二手 NIKON i7 #293628329 待售

NIKON i7
製造商
NIKON
模型
i7
ID: 293628329
Steppers.
NIKON i7是一种最先进的晶圆步进器,旨在改善集成电路器件的生产。晶圆步进器的设计旨在高效地提供精确的成像、精确的对准和精确的非接触式光对准过程。该机简化了半导体制造工艺,提高了器件特性的准确性和可重复性。NIKON I 7采用了高放大光学、数字编码器和运动控制的组合,与竞争解决方桉相比,在分辨率和可重复性方面带来了显着的改进。其曝光时间短,速度高,非常适合生产环境。它在X、Y和Z轴上的电动级提供了对成像平面的精确控制。X、Y和Z轴使用无刷直流电动机驱动,而其Z-Achromat目标提供了广泛的放大倍率,并根据所需的高度自动调整成像平面。该机还具有先进的帧转移系统,可以准确、快速地捕获大量帧。该系统确保不同基板层之间的平滑过渡,并在暴露大基板时提供高精度。I7还能够使用高NA光抗蚀剂,它在需要高精度的应用中提供卓越的分辨率和准确性。此外,它还可以用于测量和聚焦基板,允许在进行制造过程时进行精确控制。晶片步进器还具有几种分析运动性能、运动系统精度和光学性能的诊断工具。并且集成了一个机械臂,用于半导体晶片的高效装卸,提高了整体吞吐量,进一步简化了整个过程。最后,I7晶片步进器是一种最先进的机器,旨在提供精确、精确的成像、对准和光合对准过程。它能够使用高NA光抗蚀剂,并配备先进的诊断工具,提高整体性能和准确性。此外,其集成的机械臂简化并增加了制造过程的吞吐量。
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