二手 NIKON i7 #9068879 待售

NIKON i7
製造商
NIKON
模型
i7
ID: 9068879
晶圆大小: 5"
Steppers, 5".
NIKON i7是一种晶圆步进器,专为先进的180 nm节点及以下光刻应用而设计。这款超高分辨率阵列生成设备在66秒的全周期时间内实现1.2线/空间阵列和200 nm直径的接触孔。独特的1.2X还原光学和先进的照明系统结合了长、稳定的运行寿命和高稳定性。这种特性的结合使NIKON I 7成为高容量、经济高效的光刻生产的理想解决方桉。I7是一个6轴单元,可以有效地掩蔽对齐和执行。其坚固的机械设计确保了长期运行,并保持了高精度和图像重复性。它的超高速自动对齐机利用了大量的对齐标记,最大限度地减少了实现精确对齐所需的时间。其通用的自动中止工具允许在光刻加工过程中频繁检查,确保只使用最佳曝光进行生产。扫描和步进模式以及重复模式的结合使I 7成为生产从芯片到晶圆的各种光学器件尺寸的理想选择。它能耗低,占地面积减少,减少了地板空间管理,提高了空调效率。它与现有的标线和光刻处理系统兼容,允许整合光刻资产,而无需大量内存和代码重新校准。NIKON i7还提供出色的环保功能。其内置臭氧处理装置可过滤出暴露过程中释放的超低浓度臭氧和其他气体,确保安全的工作环境。它的花瓣快门设计允许防止从标线到晶圆的光泄漏,保持敏感的曝光。该车型还设有防振设备以减少噪音和振动,以及自动安全联锁门以保护操作员。总体而言,NIKON I 7是一种非常可靠、经济高效的晶圆步进器,专为高级光刻加工而设计。其功能的多种多样的组合使得它成为大容量生产光学器件的理想选择,并允许高效的操作和长期的可靠性。
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