二手 NIKON i7 #9185650 待售

NIKON i7是一种最先进的光学晶片步进器。它能够在广泛的曝光范围内进行光刻，包括后端线（BEOL）工艺应用。NIKON I 7配备了新的NIKON MAPS III（Multi-Projection Alignment Equipment III）方格对齐器，提供高精度的配准，此外还有NIKON创新的B-设施导向、标准输出的G-MAP二进制数据格式。I7具有4板高灵敏度狭缝场图像传感器,可同时对齐1个像素。另外，I 7採用新的active-AOM（辅助物镜模组）搭配4元透镜系统，以减少昏迷像差。此模块显着提高了现场均匀性和清晰度。此外，NIKON高性能舞台单元通过减少舞台移动时间来提高机器吞吐量。所有这些都是在没有sacfrirfig感知的情况下完成的。NIKON i7先进的Diamond-Torque级能够实现亚纳米定位精度和高达100 μ m/sec2的加速度。高精度阶段允许在整个曝光窗口中保持稳定和一致的成像性能。NIKON I 7还具有一种新的高精度电子倍增CCD （EM-CCD）,用于亚纳米显示精度和1 nm间距模式识别。这种EM-CCD对于微通孔和直通接触对准等应用非常可靠，甚至可用于窄模式的应用。此外,NIKON SPTS （Shutter Process Tool Software）是一种智能模式匹配功能,它将CAD数据与测量的横截面数据进行精确比较,以进行可靠的过程监控。这样可以完全控制流程的统一性、可追踪性,并能够实时优化流程。NIKON设计师特别关注i7的人体工程学。I 7设计方便用户,易于操作、工具访问和维护。最后，该工具采用耐用的不锈钢结构，采用高密度屏蔽，用于振动和噪声阻尼。NIKON i7是用于研发和生产过程应用的先进、精确、可靠的工具。