二手 NIKON i7 #9353968 待售

NIKON i7是为制造半导体集成电路而设计的先进晶圆步进器。该设备具有高精度和分辨率,分辨率为0.1微米,磁场大小为4 x 8英寸。它配有两个5级轴，以协调的方式提供对整个晶片表面的快速扫描。这样可以提高曝光和扫描应用程序的吞吐量。NIKON I 7具有高速扫描控制器，支持广泛的处理时间，从100秒到2500秒。这确保了快速、准确的运动控制,同时加快了总体吞吐量。晶片步进器还提供与热敏传感器和激光传感器对准系统，以确保高精度。I7还支持先进的光刻功能,如1X-4X多级光刻、多聚焦和瞳孔校正功能。这些功能可实现高密度阵列的高通量,并为多个阵列提供高产率。此外，该装置还配备了激光曝光设备，可对复杂结构进行全场曝光。在设计方面，I 7设计为人性化高效。它有一个自我优化的传感器，触摸面板，和一个基于摄像头的系统，允许精确监测过程。该设备还具有集成的数据记录和作业跟踪系统,可帮助提供分析和生产率指标。此外，彩色图形用户界面（GUI）允许操作员在曝光和曝光算法之间轻松切换。NIKON i7还附带了一整套编程工具,如Photomask设计、晶圆地图警报、模式修复自动化、自动曝光和边缘跟踪。这些工具可实现快速、自动化的设计和对齐操作,同时确保高精度。这使得该设备非常适合过程优化和可重复结果。它的模块化结构允许灵活性和容易集成到现有的光刻系统。最后,NIKON I 7提供了高级控制选项,允许用户在操作过程中动态监视和调整错误。这有助于提高效率并实时优化流程。该单元还提供了一个机器级库，其中包括自我解释算法以及允许用户自定义设置的参数。总体而言,i7提供全面的控制和灵活性,是高精度光刻应用的理想选择。