二手 NIKON NSR 1755 G7A #293610524 待售

ID: 293610524
晶圆大小: 6"
Stepper, 6" (5) Reticles NEST-3 FIA Changer.
NIKON NSR 1755 G7A是半导体工业中专为精密光刻加工而设计的半自动晶圆步进器。它是同类设备中最先进、最可靠的步进器之一,能够成功处理分辨率低至0.26 μ m的高级设备层。NIKON NSR-1755G7A由4,500 W高功率ArF准分子激光光源驱动,即使在最高速度下也能产生出色的图像质量和均匀性。它具有先进的光刻元件的集成设备,能够处理各种类型的基材,包括切割和未切割晶片。μ NSR-1755以每小时86,000个模具的惊人设计速度和0.5 G7A m的扩展对准精度,非常适合高密度和高容量的制造操作。该机配备了NIKON矢量对齐器(NVA)和两级系统,能够优化多层图样对齐,达到最高产量。NVA使用深紫外线(DUV)激光显微镜在基板水平上快速精确的激光对准,允许精确检测甚至最具挑战性的对准和定位问题。该机器还具有内置的波前监视器,可帮助控制波前像差,从而在各种曝光设置中保持出色的成像效果。另外,NSR 1755 G7A还包括一个集成的抗蚀剂分散装置和一个精确的微米喷嘴,可确保抗蚀剂均匀分散。这一特性确保了基板的适当涂层,同时防止了抗蚀剂的任何交叉污染,使这台机器非常精确和高效。NSR-1755G7A采用紧凑且易于维护的体系结构,是光刻加工中最具成本效益的解决方桉之一。该机由一台风冷聚光灯机组成,简化了其设置和维护,其机身设计为无褪色聚碳酸酯表面,并带有屏蔽,以保护操作员在工作时的安全。简而言之,NIKON NSR-1755 G7A是一种半自动晶片步进器,能够为分辨率低至0.26 μ m的先进器件层提供精确的光刻处理。该机配备了先进光刻元件的集成工具、4500 W高功率ArF准分子激光光源、用于抵抗色散的精确微米源喷嘴和NIKON矢量对准器,以确保图桉精确对准。它是一种高效、经济高效的机器,是高密度、高容量光刻加工作业的理想选择。
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